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  微小型熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)
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微小型熱式氣體質(zhì)量流量計(jì)
關(guān)鍵字:流量計(jì),孔板流量計(jì),浮子流量計(jì),傳感器,質(zhì)量流量計(jì),,,,,,,

 

一、 產(chǎn)品概述
 
江蘇華流儀表采用關(guān)鍵矽微機(jī)械加工技術(shù)的MS流量傳感器具有測量微小、小流量的優(yōu)勢的MEMS Microelectromechanical systems氣體質(zhì)量流量計(jì)和流量控制器,主要應(yīng)用于輕工、化工、環(huán)保及半導(dǎo)體等工業(yè)部門的空氣、氧氣、氬氣、氮?dú)獾葰怏w的檢測和控制。
該產(chǎn)品能替代浮子流量計(jì)、孔板流量計(jì)等流量計(jì)。其特點(diǎn)是可靠性高、重復(fù)性好,壓損小,無可動(dòng)部件,量程比寬,響應(yīng)時(shí)間較快,測量精度高,無需要溫度壓力補(bǔ)償


二、技術(shù)參數(shù)


2.1 測量介質(zhì):各種氣體(乙炔氣和混合氣體除外)

2.2   流量范圍:  DN3   30-300ml/min

                            DN6   60-600ml/min

                            DN8   80-800ml/min

                            DN10 100-1000ml/min            

                         注:(a)以上流量的測量介質(zhì)為空氣而言;

                                (b)以上流量的標(biāo)準(zhǔn)狀態(tài)20℃,101.325kPa。

                                (c) 每個(gè)口徑量程范圍均可擴(kuò)大

                                (d)特殊需要可聯(lián)系廠家單獨(dú)標(biāo)定

2.3   流量測量準(zhǔn)確度:±1.5%FS;±2.5%FS
2.4   工作溫度范圍:0-55℃;
2.5   工作壓力范圍:0.3MPa0.6MPa,1.0MPa
2.6   供電電源:24VDC±10%
2.7   輸出信號(hào):4-20mA,RS485通訊;
2.8   環(huán)境溫度:0-55℃;
2.9   顯示位數(shù):瞬時(shí)流量為三位,累積流量10位。
 

三、    工作原理


 uf感熱式芯片技術(shù)是采用大規(guī)模集成電阻的工作,保證傳感器的高度一致,解決了:“現(xiàn)在傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)無法保證其傳感器的電阻值的一致性,導(dǎo)致傳感器在各個(gè)法線方向熱傳導(dǎo)速度的差異,所以傳統(tǒng)的熱式質(zhì)量流量計(jì)在傳感器校準(zhǔn)和使用過程中產(chǎn)品穩(wěn)定性存在問題,實(shí)際應(yīng)用中的熱式質(zhì)量流量計(jì)價(jià)格昂貴,大規(guī)模應(yīng)用比較難的問題。而uf感熱式芯片的功耗大大小于普通的熱式質(zhì)量流量計(jì),同時(shí)可靠性穩(wěn)定,安全性更好。


在芯片上,一個(gè)微熱源及分別處于微熱源上下游的溫度傳感器集成在采用MEMS的特有工藝制作的鏤空橋面上。采用這這樣的橋式方式制作有利于熱傳導(dǎo),使動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間大大提高。當(dāng)傳感器工作時(shí),微熱源與環(huán)境溫度之間保持一定的溫差(通常是70℃),在芯片周圍形成固定的溫度場分布。如果氣體是單向流動(dòng),則在氣道中溫度場可用下述公式來計(jì)算:



 

式中:氣體流動(dòng)方向?yàn)?span style="color: red;">x,速度為v,a為擴(kuò)散率。          
                   如上圖(式)所示,當(dāng)氣體流過芯片時(shí),將會(huì)帶走熱量,通過質(zhì)量流量qm和電壓V的對(duì)應(yīng)關(guān)系來計(jì)算流體的質(zhì)量流量。



四、產(chǎn)品特點(diǎn)
 

1、產(chǎn)品集成度高,集瞬間流量顯示、累計(jì)流量顯示和信號(hào)輸出一體,并可實(shí)現(xiàn)自動(dòng)調(diào)節(jié)、控制閥門。
2、μf微流量感熱式傳感器采用大規(guī)模集成電路生產(chǎn)技術(shù)和材料加工技術(shù),使流量計(jì)的微流量測量靈敏度顯著提升。
3、微小流量氣體測量,ml/min級(jí)的微流量測控,實(shí)現(xiàn)微小流量測量的數(shù)字化。
4、單個(gè)芯片的卓越流量特性的微處理技術(shù),使流量計(jì)的量程范圍大大提高。
5、機(jī)電一體化優(yōu)化設(shè)計(jì),智能化的數(shù)據(jù)處理技術(shù),使流量計(jì)具有更好的重復(fù)性,實(shí)現(xiàn)了計(jì)量的準(zhǔn)確、可靠。
6、結(jié)構(gòu)的優(yōu)化,MFM流量計(jì)的壓力損失達(dá)到最小化。
7、采用新的MF傳感技術(shù),使流量計(jì)工作更穩(wěn)定、可靠。
8、獨(dú)創(chuàng)零點(diǎn)自校功能,測量更準(zhǔn)確。
9、多種氣體實(shí)際標(biāo)定,全量程補(bǔ)償。
10、快速響應(yīng)、數(shù)據(jù)自動(dòng)存儲(chǔ),配合上位機(jī)可實(shí)現(xiàn)網(wǎng)絡(luò)集中管理。
11、規(guī)格齊全,量程范圍寬,可根據(jù)用戶要求單獨(dú)標(biāo)定。
12、精度等級(jí)高,滿足用戶高精度測量要求。
13、獨(dú)有的流量計(jì)報(bào)警功能,使監(jiān)控更可靠。
14、操作、設(shè)置界面友好、簡便,可根據(jù)需要自行設(shè)定相關(guān)參數(shù)。
15、運(yùn)用行業(yè)多,是科研院所、分析儀表行業(yè)、半導(dǎo)體行業(yè)、光伏行業(yè)、玻璃鍍膜、石油化工行業(yè)微小氣體流量控制產(chǎn)品升級(jí)換代的首選。


 、產(chǎn)品分類與命名    


微氣體質(zhì)量流量計(jì)的型號(hào)命名


MF?

?

?

?

?

?

?

?

?

?

 

 

 

 

 

 

 

 

 

接頭類型

 

0:普通

 

 

 

 

 

 

 

 

 

1Swagelok接頭

 

 

 

 

 

 

 

 

2:其他

 

 

 

 

 

 

 

 

連接形式

 

0:快速接頭

 

 

 

 

 

 

 

1:法蘭式

 

 

 

 

 

 

 

標(biāo)定方式

 

0:空氣

 

 

 

 

 

 

 

1:氫氣

 

 

 

 

 

 

 

2:氧氣

 

 

 

 

 

 

3:氮?dú)?/span>

 

 

 

 

 

 

品種

 

01:有顯示;有485通訊口;有4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

02:有顯示;有485通訊口;無4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

03:有顯示;無485通訊口;有4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

04:有顯示;無485通訊口;無4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

05:無顯示;有485通訊口;無4-20mA輸出

 

 

 

 

 

 

06:無顯示;無485通訊口;有4-20mA輸出

 

 

 

 

 

材質(zhì)

 

0304不銹鋼

 

 

 

 

 

1316不銹鋼

 

 

 

 

 

2316L不銹鋼

 

 

 

 

 

3:鋁

 

 

 

 

 

4:其他

 

 

 

 

壓力

 

0≤0.3Mpa

 

 

 

 

1≤0.6Mpa

 

 

 

 

2≤1.0Mpa

 

 

 

被測介質(zhì)

 

 

流量范圍

 

產(chǎn)品通徑

 

03DN3

 

06DN6

 

08DN8

 

10DN10

產(chǎn)品類型

 

M:質(zhì)量流量計(jì)

C:質(zhì)量流量控制器


 

六、安裝與接線
 

7.1       安裝注意事項(xiàng)
                               安裝時(shí)必須注意場合,不能安裝于管路有雜質(zhì)的地方;


                                安裝時(shí)應(yīng)使流量計(jì)上的流向標(biāo)志所示方向與流體流動(dòng)方向一致;


 7.2   上游管道應(yīng)有10DD為管道內(nèi)徑)的直管段,下游應(yīng)有5D的后直管;


 7.3   儀表安裝處的管道內(nèi)應(yīng)光滑清潔,無突出,流量調(diào)節(jié)閥應(yīng)安裝在流量計(jì)的下游;


 7.4   儀表水平安裝,安裝使用中嚴(yán)防漏氣;


 七、儀表的機(jī)械尺



 


 

L

D

H

G

DN3

74

30

127

G1/8

DN6

74

30

127

G1/4

DN8

90

30

127

G3/8

DN10

130

35

127

G1/2


  聯(lián)系方式:15952320858(微信同號(hào))

 
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